中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ex-II #9311194 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ex-IIは、様々なプロトタイピング、生産、研究環境における特殊基板調製用に設計された複合エッチャー/アッシャー装置です。高解像度のリードフレームから集積回路（IC）まで、優れたパターニング機能とタイトなプロセス制御を提供します。単位は多数のサブシステムから成っている結合されたエッチング/組み立て機械です。エッチングと組み立ての技術、一連のロードロックチャンバー、制御コンソール、プラズマ電源を備えたメインプロセスチャンバーを備えています。このツールはまた、リアルタイムのデータ収集と分析パッケージを利用します。プロセスチャンバーは、エッチングチャンバーと組み立てチャンバーの2つの部品で構成されています。エッチングチャンバーは、基材上のパターンの作成を担当しています。このチャンバーは高度なガスとプラズマ化学を利用して高分解能パターンを作成し、組立チャンバは抵抗やコンデンサなどの基板上に部品を配置する役割を担っています。2つの部屋は共通の基質のローディングおよび荷を下すプロシージャを共有します。アセットには、エッチングと組み立てチャンバの間にある一連のロードロックチャンバーも組み込まれています。これらのチャンバーは、マスキング層と再活性を支援する低酸素レベルの制御環境を提供することにより、エッチング処理を支援します。さらに、制御コンソールを使用してモデルの動作を監視および管理します。コンソールは、ユーザーインターフェイス、エレクトロニクス、およびソフトウェアコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、機器コントローラ、プリミティブ、マクロプロセッサ、セーフティモニタ、キャリブレーションソフトウェア、およびその他の機能が含まれます。これらのコンポーネントを組み合わせて、システムの精密動作に必要なツールをユーザーに提供します。最後に、このユニットには、エッチング室でプラズマ化学を駆動する電源も含まれています。全体的に、TEL Trias Ex-IIエッチャー/アッシャーマシンは、基板の調製と高度なパターン形成のための非常に効果的なツールです。このツールは操作が簡単で、プロトタイピングと生産要件の両方に理想的なプラットフォームを提供します。高度なプロセス制御、効率的なガス、プラズマエッチング機能など、幅広い機能を備えたTOKYO ELECTRON Trias Ex-IIは、精密機器の製造に最適です。