中古 TEL / TOKYO ELECTRON Trais #9211658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Traisは、半導体製造に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。高速で精密なエッチング/アッシングプロセスを提供します。TEL Traisシステムは、Control Unit、 Etch Unit、 Refresh Unit、 Load/Unload Unitなどの主要機器で構成されています。コントロールユニットは、エッチング/アッシングプロセス全体を制御する責任があります。これには、プロセスの構成と材料の調整、各レイヤーまたはプロセスの設定、および機器の設定に使用できるさまざまなソフトウェアが含まれています。これにより、プロセスを大幅に正確に制御できます。エッチングユニットは、TOKYO ELECTRON Traisユニットのメインエッチング/アッシングユニットです。これは、直接、エッチング、およびウェーハをきれいにするチャンバーとロボットのシリーズが含まれています。エッチユニットには、半導体デバイスの絶縁層を形成するためにウェーハ上に酸化物を堆積させることができるチャンバーもあります。リフレッシュユニットは、エッチユニットに残された不要な粒子や汚染物質を除去するために使用されます。また、エッチングの副産物を除去するためにも使用されます。リフレッシュユニットは、ウエハを超純度の化学物質で洗浄し、残留粒子や汚染物質を除去することができます。負荷/アンロードユニットは、Traisマシンの異なるユニット間のウェーハ交換を担当します。負荷/アンロードユニットは、エッチユニット用のウェーハのソートと整列が可能です。また、ウェーハの積み下ろし加工にも使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON Trais Toolは、精密で再現性の高いエッチング/アッシング処理を実現する最先端の半導体デバイス製造プロセス向けに設計されています。また、酸化物の蒸着やエッチング後の洗浄も可能で、高精度かつ再現性の高い結果が得られます。TEL Traisアセットは、半導体デバイス製造のための信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。