中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #9017825 を販売中
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ID: 9017825
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12"
Includes:
Make / Model / Description
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius DT / Mainframe
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 1
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 2
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D controller
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship A
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship B
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship C
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship D
Mainframe:
Loader module
(5) Loader port units
Process ship (PM + LLM + GB): 4
(4) Process modules
(4) Gas boxes
(5) Water leak detectors (LM:1, each PS)
Controller
Turbo Molecular Pump (TMP)
Chiller: Re-circulating coolant to maintain temperature
Support equipment:
(2) Power racks
(8) RF Generators
(2) AC Power supplies
(4) TMP Controllers
(4) I/O Boxes
(4) Water leak detectors
(4) Chillers
Does not include:
(4) PM Dry pumps
(4) LLM Dry pumps.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Telius etcherは現在利用可能な最先端のエッチングシステムの1つです。自動化されたプラズマ強化された多段エッチング装置で、エッチング工程のあらゆるステップを正確に制御できます。TEL Teliusエッチャーは、ケミカルエッチング、フォトエッチング、プラズマエッチング技術を独自に組み合わせ、精密で再現性のある仕上がりを実現しています。これにより、ユーザーはエッチングの深さ、プロファイル、効率を正確に制御できます。エッチャーはまた、特定のニーズを満たすためにカスタムプロセスパラメータ設定の範囲を備えています。エッチャーも拡張可能で、追加のツールやアクセサリをシステムに統合できます。これらの拡張可能な機能により、従来のPCBから、ブラインドや埋め込みビア、HDIレイヤー、積層マイクロビアスなどのより複雑な形状まで、幅広い材料をエッチングすることができます。エッチャーには、プログラマブルなレシピライブラリや、プロセスを監視して完成品を検査するモニタリングユニットなど、さまざまな機能があります。もう一つの重要な特徴は、機械がオペレータに優しいように設計されており、操作とメンテナンスを簡単かつ簡単にすることです。このツールはまた、高度な温度制御と安全機能を備えています。危険な状況や事故を防ぐ安全インターロックで保護されています。また、完成品を検査するために使用できる統合カメラ資産も提供しており、エッチングプロセスが最高品質であることを保証します。また、環境に配慮した設計となっています。徹底していない排気装置とゼロダウンフロー設計により、環境への排出を最小限に抑えることができます。また、エネルギー消費を削減し、運用コストを節約するエアリサイクルシステムも備えています。TOKYO ELECTRON TOKYO ELECTRON Telius etcherは、従来のPCBから複雑な形状まで、幅広い素材をエッチングすることができ、信頼性と再現性の高いエッチング工程を求めるメーカーにとって理想的な選択肢です。その機能と拡張性は、効率を最大化し、完成品を最適化するために使用できる強力なツールになります。
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