中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293807035 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Teliusは、単に「エッチャー」または「アッシャー」と呼ばれることもあり、プラズマエッチング処理を用いて材料表面に微細なパターンや特徴を作成する特殊なツールです。このエッチング技術は、半導体、液晶ディスプレイ、MEMS部品の製造など、さまざまな業界で使用されています。TEL Teliusエッチングプロセスは真空チャンバーで動作し、高出力の電子サイクロトロン共鳴(ECR)装置を使用して、塩化インジウムや窒素などのガス混合物をイオン化します。このイオン化された環境は、ECRシステムと無線周波数電力を使用して材料(シリコンウェーハなど)の表面に転送されます。活性化すると、電子は材料に向かって移動し、その温度を上昇させ、それをエッチングさせる傾向があります。このターゲットエッチングプロセスは、直径0。1マイクロメートルまでの特長サイズで、高精度で詳細かつ再現性に優れています。TOKYO ELECTRON Teliusエッチングプロセスの主な利点は、ウェットケミカルエッチングなどの他のエッチング技術よりも速度と生産性の向上です。また、Teliusエッチングプロセスは、品質保証に不可欠な一貫した高度な制御が可能なエッチング深度を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUSエッチングツールは、多数のハイテク・精密エレクトロニクス製造プロセスにおいて業界標準となっています。TEL Teliusエッチングシステムは、多くの製造現場で使用されており、マニュアル、半自動、完全自動化システムなど、さまざまな形態で使用されています。TOKYO ELECTRON Teliusエッチングマシンの柔軟性は、生産速度を上げることで時間とコストを節約したい企業にとって魅力的な選択肢となります。さらに、密閉されたチャンバーの設計により、エッチング処理中に腐食性の化学物質や放射線などの安全上の危険が発生しないことが保証されています。結論として、Teliusは、エレクトロニクス製品の作成に関与する企業に比類のない精度と制御を提供するエッチングプロセスです。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TELIUS TELIUSは、直径0。1マイクロメートルまでの特長を持つエッチングパターンを実現しました。モジュラー設計、多基板処理機能、および密閉チャンバーマシンにより、効率と安全性が向上します。このように、TEL Teliusは、最高品質の電子部品を要求する生産設定のための強力で費用対効果の高いソリューションです。
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