中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS #9231837 を販売中
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ID: 9231837
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Dry etchers, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
VAT 65051-JH52-AUD1 APC, 14"
Process gases:
Gas 1: CO (100 SCCM)
Gas 2: COS (15 SCCM)
Gas 3: C4F6 (30 SCCM)
Gas 4: C4F8 (30 SCCM)
Gas 5: CH2F2 (30 SCCM)
Gas 6: N2 (150 SCCM)
Gas 7: CO (150 SCCM)
Gas 8: AR (2000 SCCM)
Gas 9: CHF3 (60 SCCM)
Gas 10: CF4 (30 SCCM)
Gas 11: O2 (30 SCCM)
Gas 12: O2 (2000 SCCM)
Gas 13: CO (150 SCCM)
Gas 14: CO (150 SCCM)
Gas 16: O2 (10 SCCM)
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400 / -
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C4 Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Carrier stage: (4) Load ports
Process module: (4) Power supplies
Gas box: (3) Power supplies
Data back up: FD
Gas line injection: 16 Line
Gate: V-TAC
Missing parts:
End point detection
Chamber PC and bottom and gas and electronic B/D
SE2000 EPD Sensor
AC Rack main
Chamber 15 gas lines MFC
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS etcher/asherは、高度な研究と生産のために設計された高精度の薄膜成膜および除去装置です。このエッチャー/アッシャーは、高度な制御ソフトウェアと組み合わされた統合された垂直真空技術を使用して、高い精度とスループットでの沈殿と除去の両方の能力を提供します。TSP-30555SSSは直感的なタッチスクリーンコントローラとカラーモニターを備えており、操作とメンテナンスを便利にする使いやすいインターフェースを提供します。このシステムは、シングルウェーハプロセス機能を備えており、ウェーハを正確に操作するための2つの調整可能なプローブが付属しています。このエッチャー/アッシャーは、自動的に調整可能な位置決めで、2「から8」までのサンプルサイズに対応できます。酸素、窒素、炭素四フッ化物など、多種多様な蒸着およびエッチングガスを提供しています。このユニットの中心には、高周波RFソースを駆動し、高い生産性を実現する堅牢なDCマグネトロンスパッタリングがあります。このエッチャー/アッシャーは、ウェーハの完全なPID温度制御も備えています。達成可能な温度範囲は摂氏80°から450°摂氏です。さらに、TSP-30555SSSは半導体と金属膜の両方を処理する能力を持っています。この機械には、そのような用途で使用するためのさまざまなペレットやメッシュ材料が装備されています。また、金属イオンエッチングとシード機能を同時に備えています。TSP-30555SSSはユーザーフレンドリーで信頼性が高く、費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。その高精度、優れたプロセス制御、および利用可能な材料の広い範囲は、高度な研究と生産のための優れた選択肢となります。
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