中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437 を販売中

TEL Telius TSP-30555SS （JIOX）は、半導体製造におけるウェハアプリケーション用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このユニットは、リアクティブイオンエッチング（RIE）、エッチバック、イオンミリング、イオンエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、幅広いエッチング操作を可能にする大型プロセスチャンバーを備えています。また、調節可能なガスフローと自動ガススイッチを備えているため、さまざまなエッチング処理を柔軟に行うことができます。TSP-30555SSには強力な3軸電動ステージが装備されており、ウェーハの正確なローディングとウェーハの位置決めが可能です。また、破片発生を最小限に抑えるためのオプションのエアナイフ、エッチング工程での迅速な反応と温度制御を維持するゲートバルブ、チャンバー圧力を低く保つターボポンプを備えています。また、高度なロードロックにより、ウェーハの高速再ロードとメンテナンスが容易になります。トーキョーエレクトロンテリウスTSP-30555SSには、安全性を高める機能が組み込まれています。自動化されたセキュリティドアとウェーハ識別システム、緊急時にエッチャーを高速シャットダウンできる緊急システムが付属しています。このユニットには、インターロックシステム、ドライフィルム保護、イオナイザーなど、いくつかの安全装置があり、エッチングチャンバーの汚染と損傷の可能性を低減するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30555SSは、操作とデータ管理が簡単なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、ユーザーフレンドリーな監視と校正ツール、内蔵デバイスマネージャなどの利便性を提供します。また、外部信号入力と出力用のインタフェースを備えているため、パラメータとプロセスの制御に関して柔軟性が向上します。さらに、このユニットにはイーサネットおよびRS232接続が装備されており、ユーザーはネットワークシステムに接続するだけでなく、リモート監視および制御することができます。全体的にTEL Telius TSP-30555SSは、豊富な機能と柔軟性を備えた強力なエッチャー/アッシャーです。そのチャンバーは、さまざまなエッチングプロセスとその安全機能、ユーザーフレンドリーな設計、および外部インターフェイスに対応することができ、効率的かつ効果的に動作する能力をユーザーに提供します。