中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9412454 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは半導体生産のために設計されたエッチャー/アッシャーです。このツールは、プラズマ中で最大1。7 µm/minのエッチング速度で、ウェーハなどの基板上に高精度のパターンをエッチングAr/SF6ことができます。このエッチャーは、高度なデバイスや回路の製造に最適です。TEL Telius SP etcherには、エッチング率に影響を与える圧力と化学濃度を低減することにより、理想的なエッチング環境を提供する大型チャンバーが付属しています。元の圧力装置の改良版は、チャンバ内の圧力障害を防止し、また、プロセス実行間のクロス汚染を低減するのに役立ちます。また、ウエハレベル基板の高度な配向システムを備えており、エッチングされるウエハの高さと配向精度を再現することができます。TOKYO ELECTRON TELIUS SPにはGAI （Generalized Automation Interface）が搭載されており、エッチングのレシピやパラメーター調整をリアルタイムで設定、監視、制御することができます。この高度な自動化により、ユーザーの介入なしに作業を迅速かつ確実に完了できます。プロセスレシピは、多様なジオメトリの構造を単体またはバッチ形式で基板にエッチングするための便利な方法論です。Telius SP etcherには高度なインテリジェント診断ユニット（IDS）もあり、最適なパフォーマンスを保証します。このマシンは一連のセンサーを使用してプロセス条件を継続的に監視し、レシピパラメータを調整して最適な結果を得ることができます。このエッチャーはまた、独自の3次元電極ツールを使用しており、優れた面積カバレッジ率とより小さな金属相互接続ライン幅を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP etcherはメンテナンスコストと修理コストを削減するために設計されています。このユニットには、迅速な取り外し部品を備えた堅牢な設計が組み込まれているため、エッチャーを迅速かつ効率的にメンテナンスおよび修理することが容易になります。エッチャーはまた、低圧補正アセットとインテリジェントなクリーニングモデルを提供し、メンテナンス期間中のダウンタイムを削減するのに役立ちます。結論として、TEL Telius SP etcher/asherは、半導体製品を製造するために設計されたオールインワンマシンです。基板の高速で高精度なエッチング速度を実現し、自動化や診断システムなどの高度な機能を提供し、最適な性能を保証します。このマシンは、高度なデバイスや回路の生産に最適であり、非常に高い信頼性、再現性、および低メンテナンスコストを提供します。