中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、半導体デバイス製造業界の誘電エッチングやウェーハ洗浄に使用される高度なエッチャー/アッシャーシステムです。これは、比類のない精度、再現性、およびスループットを提供する完全に自動化された高性能システムです。TEL Telius SPには、9kW RF電源、最適なエッチング/クリーンプロセス制御用のRFマッチングネットワークが装備されています。大気圧プラズマ源も搭載しており、高速で均一な加工が可能です。TOKYO ELECTRON Telius SPは、ウェーハ上の誘電層の上面または底面エッチング、または基板やマスク内の開口部のエッチング用に設計されています。エッチング機能は、高精度で反復可能なプロセスによって裏付けられています。これにより、時間とコストを節約しながら一貫した結果が保証されます。さらに、システムにはエンドポイント検出器とシャドウマスクアライナーの両方があり、正と負の両方のエッチングプロセスに使用できます。Telius SPには、高精度のウェーハ洗浄部品も含まれており、ウェーハから汚染物質を除去することができます。このマシンは、独自の高密度プラズマ、プロセス時間最適化、加速ウェーハ動作技術を使用して、ウェーハ表面の残骸を除去します。また、統合されたパーティクルモニタリング機能を備えており、最大アンロード粒子速度が<5 particles/cm2/minで、比類のない洗浄性能を実現しています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、半導体デバイス製造のための信頼性の高い効率的なエッチング/クリーニングツールを提供します。自動化されたプロセス制御、シャドウマスクアライナー、高密度プラズマ洗浄などの高度な機能により、優れた再現性とスループットで優れた結果を保証します。
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