中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9398280 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、エッチング、クリーニング、その他の高度なプロセスを実行するように設計されたエッチャー/アッシャーです。それは高い汎用性を提供し、さまざまな技術のための信頼できる選択です。TEL Telius SPは、反応イオンエッチング、化学蒸着、アニーリング、高密度プラズマによるエッチング、アッシングなど、さまざまなプロセスを実行することができる、最適な性能のためのマルチステージ構成を備えています。それはガスの圧力および流れを制御できる外的に調節可能なブースターの電源が付いている水晶管のまわりで造られます。SPには、高度なコントロールパネルと他のさまざまなユーザーフレンドリーな機能もあります。TOKYO ELECTRON Telius SPは、高い性能と優れた品質保証により、最も困難なエッチングおよび洗浄プロセスにおいて信頼性の高い選択肢です。均一性、再現性、安定性の点で優れた性能と比類のない信頼性を確保するために徹底的にテストされています。高度なコントロールパネルと調整可能なブースター電源により、プリエッチング/スローエッチング速度、パッシベーション速度、ライン速度など、さまざまなパラメータを調整してプロセスを最適化し、生産性を最大化できます。また、Telius SPは、エッチングプロセスを最初から最後までリアルタイムで監視および制御できる高度な安全システムを備えています。洗練された安全機能には、過圧事故が発生した場合の効果的な封じ込めシステムのためのシャットオフバルブと自動化されたプロセスが含まれます。このシステムは、通信用にイーサネット、USB、およびVGAポートを備えた組み込みコントローラによって監視されます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは挑戦的なエッチングと洗浄プロセスを実行するための優れた選択肢です。性能、信頼性、安全性、生産性の面で業界最高水準を満たすように設計されており、信頼性と品質の高いエッチングソリューションをユーザーに提供します。