中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、高品質な結果を出すための最先端技術を備えたエッチャー/アッシャーです。このツールは、非常に小さな線幅、高アスペクト比のトポグラフィー、および正確なプロファイル制御を備えた電子回路の生産を可能にするように設計されています。この装置の加工チャンバーは19。7 x 19。7 x 3。1 in （500 x 500 x 80 mm）で、295 mmの直径のウェーハに対応できます。これは、垂直に配置されたデュアルステージ、プロセス圧力を維持するために使用されるダイヤフラムポンプが装備されています。さらに、O2、 BCl3、 C4F8など8つのガスを独立して制御できるトータルガス配送装置を備えています。レジストストリッピング、ディープトレンチエッチング、キャビティエッチング、プロファイリング、パターン転送など、さまざまなエッチング要件にいくつかの構成を提供します。また、高精度なデジタルスキャンジェネレータを搭載しており、ウェハの高速スキャンが可能です。さらに、精密機械ステージと組み合わせて使用される傾き補償技術により、ウェーハ表面全体の均一性を確保します。さらに、表面マッピングユニットにより、ウェーハの中心から端までの均一性を最適化できます。そして、その高度なプロセスモニタリングは、最高品質のパフォーマンスを確保するのに役立ちます。TEL Telius SPは、最高のパフォーマンスを実現するために、操作を容易にするカスタマイズされたユーザーインターフェイスを備えています。そのデジタルプロセス制御は、リアルタイムのプロセス監視と制御を備えているため、信頼性の高いプロセスを簡単に設定および維持できます。最後に、その自動レシピ実行マシンは、最大のプロセス精度と再現性を提供します。TOKYO ELECTRON Telius SPは、極めて微細なパターニングによる表面のエッチング/アッシングに最適なツールです。その高度な機能とオプションは、より高い精度、堅牢なパフォーマンス、およびプロセスの柔軟性を提供し、最も要求の厳しいアプリケーションに適しています。