中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197607 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、基板加工において高いスループットと優れた粒子制御を実現するエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーはあらゆるタイプの基板に適しており、自動化されたチャンバー圧力制御システムと多軸処理ヘッドを備えています。エッチャー/アッシャーは、小型のフットプリントと4つのガス入力の高いスループット率を備えたコンパクトな設計です。エッチャー/アッシャーは、高精度の6軸加工ヘッドを備えており、上下自由に回転でき、最大+/-0。1度の精度で傾くこともできます。部屋は長方形の形をしており、200x200mmまでの基質を収容できます。チャンバー内部の圧力は、エッチング工程で1。3 Torrの一定の圧力を維持する洗練された制御システムで制御されます。エッチャー/アッシャーには多段ウェハ処理技術も搭載しており、各種基板の効率的な加工が可能です。エッチャー/アッシャーは、高度なMEMSおよび半導体アプリケーションに最適で、レシピを設定するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたリモコン操作システムを備えています。リモートメンテナンスやソフトウェアアップグレードにも対応しています。このユニットは、エッチング工程から排出される粒子の数を減らすために、ガス精製ユニットを内蔵しています。また、チャンバー内の粒子の存在を検出し、それに応じて圧力を調整することができる赤外線センサーを備えています。エッチャー/アッシャーも低消費電力で、あらゆる操作に適しています。さらに、エッチャー/アッシャーはエッチングに低温プラズマプロセスを使用し、基板の熱欠陥の数を減らします。さらに、TEL Telius SP etcher/asherには生涯保証が付属しており、あらゆる種類のエッチングガスおよびガス配送システムと互換性があります。