中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197603 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、半導体包装分析および製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。ケミカルエッチング、ウェットエッチング、ドライエッチングの3種類のエッチング機能を提供します。ケミカルエッチングを使用して、基板から汚れを除去することで、高品質な表面仕上げを実現します。ウェットエッチングを使用して、材料の表面を破壊し、酸化またはエッチングすることができます。最後に、ドライエッチングを使用して基板内に深い溝とパターンを作成し、電気経路やフィーチャー定義に使用できます。TEL Telius SPには、高圧プラズマ（HPP）発電機が内蔵されており、効率的で一貫したエッチング処理が可能です。独自のトライガス制御システムにより、プラズマガスとエッチングガスを1つのプロセスで正確に供給できます。これにより、エッチングパラメータをより大きな制御できます。トーキョーエレクトロンテリウスSPには熱分解ベースのレジストストリップシステムがあり、トータルプロセス時間の短縮に役立ちます。Telius SPはまた、可能な限り最高のエッチング結果をユーザーに提供するために、いくつかの制御機能を提供しています。高精度温度制御技術とクローズドループ式圧力制御を搭載し、インプロセスの安定性を維持します。また、材料の蓄積と汚染を低減する自動チャンバークリーニング機能も備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、シンプルな穴から複雑なデバイス構造まで、さまざまなエッチングパターンを生成できます。使いやすいユーザーインターフェイスにより、ユーザーは正確にエッチング戦略を選択し、高い均一性を持つ酸化物層を生成し、エッチング処理を最適化することができます。さらに、TEL Telius SPは、安全チャンバーエンクロージャやリモートガスシャットオフバルブなど、さまざまな安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON Telius SP etcher/asherは、半導体包装および解析アプリケーション向けの汎用性と信頼性の高いツールです。その様々なエッチング機能と高度な制御機能により、現代の製造プロセスにとって貴重なツールとなります。