中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、大規模で精密なエッチングとアッシングを行うために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、プロセスの最適化と生産ラインへの統合を可能にするオープンアーキテクチャで設計されています。TEL Telius SPは強力なジェネレータによって駆動され、調整可能な電圧、電流、トータルエッチング時間、パルスパルス/オフの利便性を備えた安定したプロセス性能を確保します。このシステムは、最大6インチのウェーハ径に対応した大規模エッチング処理と、ハイブリッドタイプのドライエッチング/高密度プラズマ方式を採用し、超高精度フィルムを実現するために開発されました。TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、最高300GHz周波数と最大20kWの高周波電力を備え、堅牢で安定したエッチングとアッシングのプロセスに高い発電機を使用しています。このエッチャー/アッシャーは、酸素や窒素から希ガスまで、幅広いプロセスガスに対応でき、特殊なプラズマクリーニングプロセス機能を備えています。さらに、Telius SPは、制御性の高いマイクロ波モードとignitorコマンド機能、4ウェイ・スイッチング、マルチショット発射、メモリ配列のプロセスデータによる高精度グレード操作、ウェーハ全体のエッチング層の完全な均一性を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、自動アライメントとカセットベースのローディング/アンロード機能により、低スループットと優れた性能を備えた完全自動化されたプロセスフローを提供します。このユニットは最適なメンテナンス機能のために設計されており、サービス要求に対する迅速で信頼性の高い応答を可能にします。マシン全体に、高度なパラメータカスタマイズ、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、プロセスデータのエクスポート/インポートを含む包括的なソフトウェアパッケージが組み込まれており、生産ラインへのスムーズな統合が可能です。TEL Telius SPエッチャー/アッシャーは、精密エッチングおよびアッシング操作のための最先端のソリューションを提供します。TOKYO ELECTRON Telius SPは、トップエンドの性能、幅広いプロセス能力、自動化されたプロセスフローを備え、高効率と高精度を必要とする生産ラインに最適です。