中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197588 を販売中
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ID: 9197588
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Oxide etcher, 8"
(3) Telius SP vesta chambers
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、電子部品の製造用に設計された先進的なエッチング装置です。このモデルは、メインワークステーション、真空チャンバー、および外部窒素ユニットからなる自己完結型システムです。高精度ビームスキャン、超高真空プロセス、自動ウェーハリフト、窒素ポンプなどの最先端技術を搭載しています。この機械は、コンデンサ、トランジスタ、抵抗などの小型部品の調製に適しています。このツールは革新的な3次元モーションアセットを備えており、X軸、 Y軸、 Z軸に沿った動きを正確かつ正確に制御することができ、高精度のエッチングと成膜を保証します。さらに、このモデルの超高真空能力は、高度なプロセスに不可欠な汚染物質の除去を保証します。TEL Telius SPはウェーハリフト機能を備え、狭いスペースでもウェーハの取り扱いを容易にします。また、設計パターンに応じて窒素沈着を正確に管理するように設計された独立した窒素装置を備えており、非常に薄い沈着膜を実現しています。TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、エッチングや成膜に欠陥のない高速処理スループットを実現するよう設計されています。複数のウェーハを同時に処理し、連続したプロセスを停止することなく処理できます。また、8サイクルのウェーハまでの処理条件を簡単にプレビューおよび調整できるセットアッププログラムも装備されています。Telius SPの直感的なユーザーインターフェイスには、PCベースのソフトウェア環境とともに、便利なグラフィカルタッチスクリーンが含まれています。直感的なユーザーインターフェイスと使いやすいPCソフトウェアの組み合わせにより、エンジニアは希望する仕様に合わせて処理条件をすばやくプレビュー、編集、調整することができます。このシステムは、レシピ、組み込みの編集ツール、および他のマシンにデータを転送する機能も幅広く提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、高度な人工知能技術を使用してエラーを最小限に抑え、結果を最適化する組込みオペレーティングユニットを搭載しています。また、環境安全基準に準拠し、オペレータの安全性を確実に維持します。全体的に、TEL TELIUS SPは、最先端の技術と優れたユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた高度なエッチングツールであり、高精度の部品の製造に適しています。ユニークな窒素アセット、ウェーハリフト機能、簡単な動作環境により、電子部品の生産に包括的なプロセスを提供します。
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