中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは半導体製造業界で使用されるエッチャー/アッシャーです。これは、高密度ウェハを処理し、重要な半導体要件に優れた性能を提供するように設計されたフルサイズアッシャーです。TEL Telius SPは、複数のウェーハ転送カートを備えた5軸リニアドライブローディング装置で構成されたフルサイズのツールです。19インチのディスプレイコンソールと、多言語対応のキーボードを備えています。このレイアウトにより、リード/無鉛デバイスの切り替えが容易になり、液体フィルターを内蔵した自動ウェハハンドリングシステムを備えています。このユニットは、耐食性を向上させるために高級なステンレス鋼で構成されており、ESDセーフケーブルで事前に配線されています。TOKYO ELECTRON TELIUS SPには、4軸スピナーを備えた複数のプロセスチャンバーがあり、エッチングとアッシングプロセスの制御に優れています。スピナーは高速回転と高解像度回転が可能であり、10k rpmから25k rpmまでの可変速度範囲があります。また、改良された差動圧力制御機、最適化された真空技術、および均一な電源を備えています。洗浄プロセスも改善されており、ウェーハを効果的に洗浄するための臭化水素プロセスと、洗浄薬品の自動補充を特徴としています。Telius SPには、反応製品の除去を強化し、マスクの損傷を軽減するジェネレーティブ冷却チャンバーもあります。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、高精度エッチングおよびアッシング機能に加え、自動ユーザーアクセス制御、衝撃検出器、防火ツールなどの高度な安全機能を提供します。また、さまざまなTELソフトウェア用のさまざまなプロセス管理ツールと統合が付属しています。TEL Telius SPは、半導体製造施設における大量生産と高精度の品質管理に最適なツールです。これは、高速サイクル時間と高精度プロセスで異なるウェーハサイズと厚さを処理するように設計されています。温度、時間、電流追跡機能により、より良いプロセス結果を達成し、幅広いプロセス制御オプションを備えています。