中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、大量生産に最適なパラレルクラスタータイプのエッチャー/アッシャーです。精度と精度の高い複雑な3D構造を作成するための費用対効果の高いソリューションです。シンプルでユーザーフレンドリーな操作機器を備えているため、高度なプロセスレシピを通じてオペレーターを誘導するのに適しています。TEL Telius SPには、ウェーハのフォトレジストコーティング、前処理、エッチング、アッシングの4つのモジュールが含まれています。各モジュールは、ダウンタイムの少ない信頼性と再現性の高いパフォーマンスのために構築されています。前処理には酸素とフッ素注入が含まれており、表面が滑らかで均一になります。ウェーハを固定するために静電チャックを使用し、高度なインピーダンスシステムにはプラズマ電力を制御するためのASYSTリアルタイムプラズマユニットが含まれています。エッチングモジュールは高性能プラズマプロセスで構成され、精度と精度の高いミクロンサイズまでの深い複雑な3D構造を作成することができます。使用されるエッチング時間と材料は、品質の結果を保証するために自動的に監視および制御されます。さらに、精密基板実装用に多軸カセットを用意し、プライベートEMGD CCDカメラを内蔵して、すすぎ作業中のDI水位を監視します。アッシングモジュールは、有機および無機フォトレジストの両方を除去するために高出力の酸素プラズマを使用しています。それはまた精密の深さの表面のための滑らか0.1µm終わりを、提供します。このモジュールは、プラズマプロセスから放出された粒子が隣接する区画にウェーハを散乱させるのを防ぐ円周シールドも備えています。TOKYO ELECTRON Telius SPは、最大2,400基板の大容量を有し、大量生産に最適です。それはまたほとんどの化学薬品およびガスと互換性があり、改善することを容易にするモジュラー設計と来ます。さらに、このマシンは、長期的な動作を保証する幅広い組み込みの安全機能で高度に自動化されています。これにより、Telius SPは高解像度の構造を精度と精度で処理するのに最適なソリューションです。