中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197565 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、高度な半導体製造プロセス向けに設計された高性能プラズマエッチング装置です。このエッチャーは、業界で最も高いプラズマ源の1つを備えており、優れた精度で高いスループットを提供します。また、さまざまなプロセス要求に対応するために高度に構成可能です。TEL Telius SPは、高反応性エネルギーイオンと高密度プラズマを可能にする高度なプラズマソース技術を特長としています。この技術は、エッチングプロセスのサイクルタイムを大幅に短縮し、より迅速な生産作業を可能にします。また、エッチング機能の最適な均一性と再現性を備え、優れた精度を提供します。多種多様な半導体プロセスのチューニングが可能な構成オプションを備えています。また、温度センサや湿度センサなどの包括的な監視および制御ツールも備えています。これにより、最適なエッチング条件を確保し、プロセス汚染の可能性を低減します。また、統合されたデータロギングを備えており、ユーザーは品質保証とトラブルシューティングのためにプロセスを監視およびレビューすることができます。このユニットは、直感的なコントロールを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、学習と操作が簡単になります。既存の半導体製造システムに容易に統合され、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方の要件に対応しています。TOKYO ELECTRON TELIUS SPは、優れた精度、高速スループット、および材料互換性を提供する高度なエッチングマシンです。最先端の半導体製造プロセスに最適で、最高の精度と構成性を提供します。