中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197560 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、半導体・フラットパネルディスプレイ製造に使用されるエッチング・アッシング材料用に設計された完全自動エッチング/アッシング装置です。このシステムは、単一のプロセスでウェーハの完全なリソグラフィーエッチングとアッシングを実行することができます。これは時間とコストを節約し、より良い収量を達成するのに役立ちます。このユニットには、通常、超薄膜の成膜チャンバー、エッチングチャンバー、アッシングチャンバーが装備されています。超薄膜の成膜チャンバーは、半導体の製造に必要な材料の超薄層を堆積するように設計されています。エッチングチャンバーはレイヤーの精密エッチングを行うために使用され、アッシングチャンバーは化学的アッシングを行うために使用されます。この機械には、自動ロードロック機構とカセットツーチャンバー転送ツールが組み込まれています。自動化されたロードロック機構により、基板の積み降ろしが容易になり、カセットからチャンバへの搬送アセットがカセットから個々の処理チャンバへの基板輸送に使用されます。TEL Telius SPは、サブミクロンの垂直および横方向の解像度で高密度の誘電パターンを生成することができます。高均一性と再現性を兼ね備えており、精密加工が必要な用途に適しています。このモデルはまた、優れたプロセス制御を提供し、プロセス結果と高品質の製造の再現性を確保するのに役立ちます。また、東京エレクトロンテリウスSPにはレシピとデータ処理装置が統合されており、ユーザーは安全にプロセスレシピと結果を保存して取得することができます。これにより、プロセスの一貫性と全体的な効率性が向上します。全体として、Telius SPは信頼性が高く効率的なシステムで、幅広いデバイス製造アプリケーションに高精度のエッチングおよびアッシング結果を提供します。自動化された安全機能、高度なレシピとデータ処理ユニット、およびユーザーフレンドリーな操作により、正確で費用対効果の高いデバイス製造プロセスを実現するのに理想的です。