中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9178722 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、様々な表面処理に適したエッチング/アッシング装置です。このシステムは、主に半導体製造だけでなく、MEMS、エネルギーデバイス、薄膜電子部品、光学システムなど、幅広い業界で使用されています。TEL Telius SPは、様々なエッチングパターンや形状を高精度に作成することができます。高度で精密な制御技術を使用してエッチング/アッシング処理を制御し、精度と高品質のエッチングを可能にします。また、低圧マイクロエッチングを使用して、均一なエッチングの深さと形状を確保します。このユニットには、さまざまなエッチング用途に使用できるさまざまなツールやアクセサリーが装備されています。エッチング用の異なるサイズのマスクフレーム、およびアンダーカットに使用できる不活性ガスおよびダイサブプレートが含まれています。また、深いRIE、ウェットエッチング、熱硬化などのプロセスを洗浄することができます。また、エッチング/アッシングプロセスが最適な状態で行われるようにプロセス制御を提供します。センサーは、圧力、温度、およびその他のパラメータを監視して、プロセスのフィードバックを提供します。これは、エッチング基板の損傷を防ぐために、プロセスが安全に実行されるようにするのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Telius SPは、プロセスパラメータを簡単に入力できるタッチスクリーンディスプレイと、エッチング/アッシングプロセスのリアルタイム監視機能を搭載しています。このツールには、さまざまなプロセスの分析と比較に使用できる詳細な記録管理用のデータロギングも含まれています。このアセットは、複雑なパターンや形状を正確にエッチング/アッシングするだけでなく、プロセス制御機能も備えているため、さまざまな製造環境での表面処理にとって貴重な資産となります。使いやすいタッチスクリーンとデータロギング機能により、ユーザーはエッチング処理を追跡および分析することができ、結果を迅速かつ効率的に生成できます。これにより、Telius SPは優れた機能とともに、あらゆる製造ラインに貴重な付加価値をもたらします。