中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293657406 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、高度な半導体デバイスの製造に使用される最先端のエッチングおよびアッシング機です。高度なプロセス機能の信頼性と高スループットエッチングを、比類のない精度と制御で提供します。このマシンは、さまざまな温度およびスループットレベルで一貫した結果を生成することができます。TEL Telius SPは、さまざまな温度でのエッチングの均一性を保証する高度な気体エッチングソースを備えています。この高度なエッチソースは温度制御され、プロセス制御の改善とエッチング性能の向上のための圧力、流量、リアクタント制御が組み込まれています。さらに、エッチソースを調整して、未塗装および研磨されたウェーハの様々なエッチングを迅速かつ正確に行うことができます。東京電機テリウスSPの先進ガス源は、石英エッチングチャンバー、パルスDCエッチングパワーユニット、精密エッチング用のデジタルリードアウトメーターを内蔵しています。デジタルコンピュータ制御パルスおよびDCエッチングにより、プロセス結果の最適な均一性と精度が保証されます。Telius SPはまた、直接プロセスのフィードバック信号をユーザーに提供するフラットパネルディスプレイ（FPD）を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPの高度なウェットエッチング機能は、幅広い反応性ウェットエッチングプロファイルを提供します。開始から終了までのプロファイリングとソースパラメータの最適化により、エッチングと除去のパフォーマンスが向上し、プロセスの歩留まりが向上し、スループットが向上します。自動ウェットエッチスイッチにより、ウェットエッチプロファイルとドライエッチプロファイルを簡単に切り替えることができます。TEL Telius SPは、エッチングの最適化を高めるための自動圧力、温度制御、プロセス監視を備えた正確なドライエッチング装置も備えています。ドライエッチング機能は、裏面または両面プロセスフローにも使用できます。オンボード内蔵のエッチチャンバーは、全体に均一なエッチング分布で大きなウェハを保持することができます。TOKYO ELECTRON Telius SPは、その機能性を高めるために、様々な追加機能やアクセサリーを提供しています。自動重量制御システム（AWCS）とウェーハハンドリングロボット（WHR）は、プロセス精度と信頼性を向上させるように設計されています。冷却されたチャックは、ウェハまたは基板冷却用に使用できます。リアクティブイオンエッチユニット（RIE）などの追加エッチツールを追加して、リアクティブRIEエッチングを行うことができます。Telius SPは、高度なプロセス機能のエッチングに最適なソリューションであり、他のエッチングシステムと比較して優れたスループットで信頼性の高い均一なプロセスを実現します。その柔軟性、先進的なソース技術、プロセス最適化機能により、ハイエンド半導体製造に最適なエッチングマシンです。