中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293637535 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、産業用薄膜アプリケーション向けに設計された革新的なプラズマエッチャーです。プラズマベースの装置で、高性能RF発電機とマグネトロンを使用して、無線周波数プラズマを効率的に生成し、ブーストします。エッチャーには、人間の介入を最小限に抑えて最適なエッチング結果を維持するために必要に応じてパラメータを変更することができる統合機械学習システムも装備されています。TEL Telius SPは、他のエッチングシステムよりもはるかに速い速度で材料をエッチングすることを可能にする高度なサイクルエッチングプロセスを備えています。エッチングチャンバーは最大4気圧で動作可能で、プロセスのクラスタリング効率を高めるのに役立ちます。また、自動レベリング機構を使用して、サンプル表面にアーク電位を均等に広げ、エッチングガスの蒸発速度を低減します。堅牢な設計により、-5〜75°Cの温度で動作できます。東京エレクトロンテリウスSPは、優れたエッチング機能に加え、エッチング後の薄膜の解析を行う高性能な光学イメージングユニットを提供しています。このイメージングマシンには、高性能CCDカメラ、光学顕微鏡、イメージングコンピュータなど、いくつかのコンポーネントが搭載されています。これらのコンポーネントを使用して、薄膜サンプルの詳細な分析を行うことができ、ユーザーにサンプルのエッチング速度、表面プロファイル、および厚さのデータを提供します。Telius SPを搭載したユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアにより、高度な技術知識を必要とせずにエッチング資産を簡単に設定および操作できます。セットアッププロセスは迅速であり、モデルはいくつかの簡単なステップで校正することができます。統合された機械学習装置は、システムを完全に自動化し、複雑なパラメータ設定の必要性を排除します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Telius SPは、プラズマエッチング技術の最新の進歩を示しています。高性能なイメージングユニットにより、薄膜サンプルの詳細な解析が可能です。TEL Telius SPは、堅牢な設計と自動化されたセットアップと操作により、高度なプラズマエッチャーを探している産業用アプリケーションに最適です。