中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT #9204771 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DTは、炭化ケイ素メカニカルプランアライゼーション（SCCM）エッチャー/アッシャーです。SCCMは、化学エッチング、機械研磨、および繰り返し洪水とスラリーの除去の組み合わせを使用して、目的の表面と平面化を達成するために基板の精密乱れのプロセスです。TEL Telius SP SCCM DTは、ナノメートルレベルの解像度で材料を平面化する必要があるメーカーやエンジニアにソリューションを提供します。TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DTは、シリコンウェーハ、化合物半導体、ガラス、低k誘電体など、さまざまな基板に対応するために、複数のチャンバーサイズで設計されています。Telius SP SCCM DTは、幅広い基板処理機能を備えており、さまざまなエッチングおよび平面化プロセスに最適な選択肢です。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DTは、ターボブロワーと多軸ダイレクトドライブチャックを組み合わせた先進的なダイレクトドライブ設計により、正確なアライメント、負荷均一性、再現性の高い最終結果を実現します。TEL Telius SP SCCM DTは、3段階の高性能エッチング処理を提供します。最初の段階では、研磨粒子を含むスラリーを使用して、事前のパターン化によって引き起こされる凹凸やステップなどの表面の特徴を除去します。第2段階では、化学エッチングを使用して、トレンチやチャネルなどの所定の領域を選択的にエッチングし、その後の平面化段階の表面を準備します。第3段階では、表面の特徴を滑らかにし、平面表面を作成するために非研磨スラリーが使用されます。東京エレクトロンテリウスSCP SCCM DTは、効率的なエッチング処理に加えて、高度な監視・制御装置も備えています。このシステムは、動作パラメータに関するリアルタイムのフィードバックを提供し、開始から終了までの統計プロセスの監視を可能にします。さらに、Telius SP SCCM DTには、アクティブベンティング、カスケード層ガスコントローラ、デュアルステージ安全シャッターユニットなど、数多くの安全および環境保護機能が含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DTは、ユーザーに効果的で信頼性の高いエッチングおよび平面化ソリューションを提供する、信頼性の高い高性能エッチングおよび平面化マシンです。さまざまな用途に最適なTEL Telius SP SCCM DTは、精度、効率、信頼性を考慮して設計されています。