中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267847 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QSは、半導体や電子機器の製造において最も要求の厳しい用途向けに設計された、強力で信頼性の高いドライフィルムアッシャーです。この高性能機器は、DRAM、フラッシュメモリ、FRAM、 SRAM、 EPROM、 EEPROMなどの大小の基板を精密にエッチングすることができます。このエッチャー/アッシャーは、プログラム全体で均一なエッチングを実現するために、デュアルビーム技術を利用しています。個々のエッチングステップごとにエッチパラメータマスクを定義するオプティカルビームカラム（OBC）、このOBC命令セットを格納するチャージプレート、最適なビームアライメントカメラを備えています。このシステムは超精密なモーションテーブルを内蔵しており、2つのエッチヘッドを独立して調整して最大の精度を得ることができます。TEL Telius SP 308QSの単方向ガス供給ユニットは、均一なエッチング結果を保証します。調整可能なガス圧力、流量、およびN2、 C2H2、 O2の選択を備えたガス選択機が装備されています。多種多様なエッチングパターンを作成するためのエッチングマスク、およびエッチング結果の一貫性を保証する温度および酸素サブコントロールツールが含まれています。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QSは、幅と奥行きが最大1ミクロンの分解能で、リニアリティに優れた再現性のある極めて高いエッチング速度を実現します。また、ウェーハサイズと基板の広い範囲で均一なエッチング速度を提供します。このアセットは、0。0005〜0。002 µm/minの一貫したエッチング速度を維持しながら、高精度で複雑な表面をエッチングすることができます。Telius SP 308QSは簡単なメンテナンスのために設計されており、高度なアラーム管理、データ管理、分析機能を備えたユーザーフレンドリーで専用の制御ソフトウェアが付属しています。また、グラフィカルユーザーインターフェイス、標準ネットワーク接続、インターネット制御によるリモートアクセス、内部パスワード保護付きの高度なセキュリティモデルも備えています。この機器には、人間工学に基づいて設計された、カスタム、高効率処理のための幅広いアクセサリーが付属しています。