中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QSは、高度な生産プロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。3xnm以下の幅広いプロセス技術のメモリおよびロジックデバイスアプリケーションに適しています。エッチャー/アッシャーは、より広範囲のアプリケーションに高いエネルギーを提供するデュアル周波数水晶（DFQ）導波路を利用しています。TEL Telius SP 308QSは、優れたプロセス均一性とスループットを提供する高度なチャンバー設計を備えています。この装置は、ウェーハとウェーハ間の接触、徹底したウェーハ洗浄、スムーズなエッチプロファイルを可能にする室内静電チャックで設計されています。さらに、このエッチャー/アッシャーはクアッドポジションウェーハを備えており、同じ動作でさまざまなウェーハサイズを可能にし、スループットと柔軟性を向上させます。TOKYO ELECTRON Telius SP 308QSは、自動蓋の開閉とCryo-Vesicleキャプチャオプションによる真空密着構造を採用しています。PBrFプロセスコントロールユニットと連携して動作する多層シャッターシステムも搭載しています。このマシンは、製品特性を優れた制御を提供し、異なるプロセスレイヤーとウェーハにわたって一貫した歩留まりを維持するのに役立ちます。Telius SP 308QSエッチャー/アッシャーはまた、高度なメンテナンスと安全機能の範囲を提供しています。これには、信頼性を向上させるためのエアナイフの故障防止ツールと化学的排気防止資産、および安全性を向上させるためのウェーハ再配置されたシングルウェーハおよびロボットアーム保護システムが含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QSエッチャー/アッシャーは、高効率、高精度、信頼性の高い性能を目指して設計されており、ハイエンドのエッチングおよびアッシング製造プロセスに最適です。優れた制御性、均一性、柔軟性を備えているため、ユーザーは生産プロセスで再現性と信頼性の高い結果を得ることができます。