中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267844 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 9267844
Deep trench silicon etcher
FACE 1 (Controller)
FACE 2 (Controller)
(4) Chambers
(4) Gas boxes
QUARTZ
(2) AC Power
(4) Pumps
Pump stand
Parts:
(4) Buffer chamber pumps
(4) Chillers
Door
Chiller stand.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QSは、自動車メーカーや家電メーカーなどに、正確で信頼性の高い製造プロセスを提供するために設計された革新的なエッチャー/アッシャー装置です。SP 308QSは、高トルク2軸の水平ステージを備えており、幅広い速度および加速プロファイルにわたって正確で高速なステージの位置決めと処理を可能にします。このシステムの高度なプロセス制御により、基板の表面積にわたるエッチング材料の正確な温度制御と均一な蒸着が保証され、精密なエッチング/アッシングが可能になります。TEL Telius SP 308QSは、高度なソフトウェアを使用して、優れたプロセス制御と信頼性を保証します。内蔵のCADベースのレシピプログラムは、一貫したエッチング性能を提供しますが、内蔵の自動印刷機能は設計とプロトタイピングの作業を大幅に簡素化します。このユニットは、複数のエッチング/アッシングのレシピを簡単にセットアップおよび設定でき、カスタムエッチングおよびアッシングのレシピを作成するプロセスを合理化します。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QSマシンは、直感的なユーザーインターフェースで設計されており、ユーザーはエッチング/アッシャーを素早く設定、処理、監視することができます。このツールはまた、最大の安全性のために設計されています。CEマーク、IP2X電気エンクロージャ、緊急時の自動プロセス終了などの複数の安全機能により、安全な職場を確保し、事故を防止します。Telius SP 308QSが製造する半導体エッチング/アッシュは、最高の品質と再現性を備えており、効率的な運用と高い生産歩留まりを保証します。アセットには精密プロセスモニターが装備されており、エッチングおよびアッシング条件の最小の変化を検出し、正確なプロセス制御を保証します。また、エッチングやアッシュのレシピを内外で調整することで微調整が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QSは、幅広い温度・圧力での蒸発・エッチングが可能です。これにより、最高の生産性を実現する最適なウェハレベルの処理が保証されます。さらに、新しい基板やプロセスに迅速に対応するために、柔軟性があるように設計されています。これは、研究開発だけでなく、複雑で要求の厳しいプロセスの広い範囲の工業生産に最適です。TEL Telius SP 308QSは、最高の生産性と効率で優れた品質を提供するように設計された革新的で信頼性の高い安全なエッチャー/アッシャーシステムです。このユニットの高性能制御システムと統合された安全機能により、安全な作業環境と一貫したプロセス結果が保証され、ユーザーはプロセスアプリケーションから最大限の価値を得ることができます。
まだレビューはありません