中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666984 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMは、高度で複雑な半導体部品の製造用に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。高効率で費用対効果の高いソリューションで、精密エッチングとアッシング機能を提供します。TEL Telius SP 305 SCCMは、さまざまなアプリケーションに対応するモジュラープラットフォーム上に構築されており、特定のプロセスのニーズに合わせたカスタマイズを可能にするフィールド設置可能なオプションを選択できます。高精度のエッチングとアッシングは、精密かつ再現可能なガスの流れ、圧力レベルの直接制御、エッチングおよびアッシングチャンバーの精密な加圧によって実現されます。その結果、エッチャー/アッシャーは、時間をかけて繰り返すことができる一貫したプロセス結果を保証します。TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMは、高度なプロセス設定と一定のプロセス監視を可能にする洗練されたオートメーションパッケージを備えた自己完結型の機器です。直感的なユーザーインターフェイスにより、オペレータはシステムを監視し、一貫した信頼性の高いパフォーマンスを保証します。このユニットは、エッチングレートを最適化し、出荷されたウェーハの損傷の可能性を最小限に抑えるために、圧力レベルを監視、調整、制御することもできます。Telius SP 305 SCCMはオープンアーキテクチャのプラットフォーム上に構築されており、他の生産システムと容易に統合してプロセス制御と管理を向上させます。この機械の最先端のエレクトロニクスとソフトウェアは、正確な温度制御を可能にし、環境条件に関係なく一貫した再現性のある結果を保証します。エッチャー/アッシャーには、さまざまなプロセスの組み合わせを可能にする幅広いプロセスガスが付属しています。また、バッチやプラズマを含むさまざまな大気タイプをサポートし、さらなる柔軟性と制御を実現します。最大300mmまでのウエハサイズで、最大200mmまでのウエハ処理が可能です。このツールは、シングルプロセスとパラレルプロセスの両方の機能のために最大2つのトランスファチャンバーに対応できます。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMエッチャー/アッシャーは、エッチングとアッシングに優れた先進半導体部品の製造に、堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。高度な自動化機能、柔軟な設計、高度なプロセス制御機能により、多くのレイヤーと複雑な形状を持つデバイスの製造に適しています。