中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666983 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMは、今日の半導体およびマイクロエレクトロニクス産業のニーズに応えるために設計されたマルチチャンバーエッチャー/アッシャーです。薄膜の高さを正確に制御するために、クラス最高の高精度プロセスと最適な硫黄エッチング率を提供するために構築されています。SP 305 SCCMは、高度なオートフォーカス技術、0。25秒の高速スキャン時間、および低残留抵抗率モニタを使用して、最高品質の結果を維持します。SP 305 SCCMは、迅速かつ効率的なバッチローディングとアンロードのために設計されており、スループットの向上に役立ちます。同時硫黄エッチングおよびレジストアッシング用の複数のチャンバーを備えており、チャンバーサイクル時間の短縮、歩留まりの改善、ダウンタイムの最小化を実現しています。操作しやすい装置により、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御でき、ユーザーは個々の要件に合わせてレシピをカスタマイズできます。TEL Telius SP 305 SCCMは、直感的でグラフィカルなユーザーインターフェイスを備えており、操作者はツールのパフォーマンスとプロセス条件を追跡しながら、強力なプロセスレシピと診断を提供し、トラブルシューティングを容易にします。また、パワフルなコントロールユニットを搭載しており、工程状況を正確にモニタリングし、パフォーマンスを最適化することができます。このマシンは、サービスとサポートプロフェッショナルのTELネットワークに支えられており、高いレベルの信頼性と最小限のダウンタイムを提供します。このSP305-SCCMは、陽極酸化、銅エッチング、アルミニウムエッチングなど、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに適しています。また、フィルム高さ制御を向上させる強力なデジタル信号処理（DSP）技術が含まれており、薄いレジスト層の効率的かつ正確なアッシングに使用できます。また、TOKYO ELECTRON Advanced OxideSense Ashing Assetに最適化されており、高品質で再現性のあるプロセス制御が可能です。TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMは、高度な技術とユーザーフレンドリーなデザインと直感的なコントロールを組み合わせています。堅牢で信頼性の高いモデルで、ユーザーは最高の精度で優れた精密エッチング結果を達成できます。