中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TEは、化学エッチングおよびアッシング処理を制御する最先端の技術を統合したモジュールです。エッチャー/アッシャーとして、TEL Telius SP 305 SCCM TEは、基板エッチング、アッシング、クリーニング活動を正確に制御するように設計されています。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TEは、柔軟な機器アーキテクチャにより、直流エッチング（DCE）および交流エッチング（ACE）プロセスを優れた制御を提供します。両方のプロセスを一体的に実行できるため、エッチングの均一性と歩留まりを最適に制御できます。Telius SP 305 SCCM TEは、エッチャー/アッシャーのセットアップと使用を簡素化する自動システムコミュニケーションを備えた2ヶ月間の制御インタフェースを備えています。この制御ユニットは、温度、圧力、電流などのエッチング変数をリアルタイムで読み取る統合監視およびデータロギングとペアになっています。また、材料処理に適したレシピを選択することができ、プロセスの均一性を最適化するためにデジタルエッジコントロールでプログラムされています。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TEのエッチャー/アッシャー設計は、サンドビカディアバティックエッチング（SAE）が可能です。冷却時間を最小限に抑え、深い高アスペクト比エッチングでアスペクト比を最大化する機能を備えています。このデバイスは、150℃までの温度でのエッチング機能と、アンダーカットまたは空洞を制御するための温度制御異方性エッチング（TCAE）も提供します。TEL Telius SP 305 SCCM TEには、ユーザーが最小限の調整で複雑な構造を達成することを可能にするさまざまな事前プログラムされたエッチレシピが付属しています。また、エッチングとアッシングプロセスの異常を最小限に抑えるためのアクティビティモニタリングを提供します。これらのユニークな特性は、東京エレクトロンテリウスSP 305 SCCM TEを市場で最も技術的に先進的なエッチャー/アッシャーの1つにするために組み合わされています。エッチング/アッシュプロセスの優れた制御を提供することにより、ユーザーは一貫した再現性のあるプロセス制御を保証することができます。