中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9196852 を販売中

TEL Telius SP 305 SCCMは、半導体業界の高精度エッチング/アッシングのニーズに応えるために設計されたエッチャー/アッシャーです。極めて精度の高い詳細なパターンを作成するために、様々な基板から非常に狭い層の材料を除去することができる高精度の機械です。SP 305 SCCMは、信頼性の高い耐久性の高いユニットとなる高品質の材料で構築されています。ベースユニットとさまざまな交換可能な部品で構成されており、ユーザーはニーズに合わせてデバイスをカスタマイズできます。SP 305 SCCMには、ガス混合フロー制御とプログラマブルタイマーが装備されています。エッチング工程で使用される各種ガスをブレンドするためにガス混合フロー制御を使用し、タイマーによりエッチング工程が所望の時間にわたって行われるようにします。さらに、このエッチャー/アッシャーには、プロセスをリアルタイムで監視し、不規則性が検出された場合にユーザーに警告することができるオートモニターシステムも装備されています。これにより、ユーザーはエッチングプロセスをさらに制御し、正確な結果を得ることができます。SP 305 SCCMは高精度で、エッチングとアッシングの両方に± 2ミクロンの合計配置精度を備えています。また、0。5mmから50mm/sまでの幅広いエッチング速度を提供し、基板の迅速かつ効率的な処理を可能にします。さらに、SP 305 SCCMには、蒸発室から粒子などの汚染物質を除去する真空吸収システムが装備されており、純粋な物質だけがエッチング/アッシュされるようにしています。このエッチャー/アッシャーには、手動、半自動、および自動の3つの操作モードがあります。手動モードは、ユーザーが手動で各パラメータを入力することができます、半自動モードは、ユーザーが独自のプログラムを作成し、タイマーを設定することができます、自動モードは、ユーザーが必要としない正確なエッチングとアッシュを可能にします。これにより、SP 305 SCCMは、高精度エッチングまたはアッシングを必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。SP 305 SCCMは操作とメンテナンスが簡単で、半導体業界のさまざまなエッチングおよびアッシング用途にとって魅力的な選択肢です。それは優れた精度で複雑なパターンを作成するのに役立つ信頼性が高く、耐久性があり、精密なデバイスです。