中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #9397049 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRMは、高性能エッチング/アッシャーです。高度なエッチング/アッシャーで、エッチング/アッシャープロセス中に精度を高めるために精密加工されたチャンバーを備えています。このマシンは、3つの独立したRF電源を使用して、効率的なガスシャワー噴出システムと組み合わせて、さまざまなエッチングおよびスパッタリング要件に最大限の柔軟性を提供します。TEL Telius SP 305 DRMのチャンバーサイズは、幅1。3m×奥行き1。4m×奥行き0。37mで、走行容量は50リットルです。チャンバー内の圧力は0〜400 torrの範囲で、1 Torr単位で調整できます。プロセス温度は-100〜700°Cで、再現性は+/-0。1°Cです。この機械の均一性は優れており、6ミクロン以下の特徴サイズの高精度エッチングが可能です。TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRMは、プロセス制御を強化するためのケルビンプローブ温度とDCバイアス選択オプションも備えています。所望のプロセスを達成するためには、エッチング/アッシャーのチャンバーを適切に準備する必要があります。このプロセスは、これまで使用されていた材料のビルドアップを除去する高度な摩耗洗浄システムを使用して、チャンバー壁のクリーニングから始まります。チャンバーはポンプで送り出され、適切なプロセスガスで埋め戻されます。このチャンバーは、希望の温度に加熱される前に超高真空（UHV）レベルを達成するために密閉されます。チャンバー温度は常に監視され、チャンバーの壁に統合された高度な熱電対によって調整されます。Telius SP 305 DRMは、スパッタリングアプリケーションだけでなく、ウェットエッチングとドライエッチングの両方を実行することができます。ガス圧力と流量のレベル、およびRF電源のさまざまな組み合わせにより、このエッチャーはより高い歩留まりとサイクルタイムの改善で精密エッチングを実現します。また、エッチングやスパッタリングプロセスの進行を監視するために、さまざまな分析技術を使用することができます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRMは、精度と再現性に優れた高度なエッチング/アッシャーです。その特徴は、複数のプロセス目的を可能にし、正確なチャンバーと温度制御により、歩留まりが改善され、サイクル時間が短縮されます。