中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM Etcher/Asherは、Silicon、 SiGe、 Gallium Arsenide、 Sapphireなど、幅広い半導体ウェーハ基板向けに設計された高性能エッチング/アッシングツールです。ウェット/ドライエッチング/アッシング加工をサポートし、高度なエッチャーとアッシャーの高度な技術により、高精度なエッチング/アッシングを可能にします。Telius SP 305は、高精度のエッチング/アッシング、直線性、均一性を提供し、一貫したプロセス性能を実現します。Telius SP 305は、高度な「スマート」エッチング/アッシングプロセス制御システムを提供し、業界で最も正確で一貫した時間効率の高いエッチング/アッシングを可能にします。Telius SP 305は、サブミクロン表面処理、フォーカススキャンの高速平面、マスクによるエッチング/アッシング、デジタルイメージング機能などの追加機能を提供します。Telius SP 305には、インターロック、浸食モニタリング、逆流保護を備えた包括的な安全ユニットも含まれています。この機械はSEMIおよびESD Semiconductor Safety規格に準拠しており、このツールが安全で信頼性が高いことを保証します。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大限に高めることができます。このアセットは直感的なグラフィカルインターフェイスを備えており、プログラム機能や自動モデル情報に簡単にアクセスできます。I/Oパフォーマンスの互換性は、標準のPCハードウェアとソフトウェアに基づいています。「スマートエッチング/アッシング」技術により、カスタムエッチング/アッシングプログラムを作成し、長期的なデータロギングとレシピ管理のためにデバイスに保存することができます。組み込みレシピは、最短時間で最適なエッチング/アッシングを可能にします。さらに、Telius SP 305は業界標準のチャンバーと互換性があり、リアルタイムのエッチング/アッシングデータキャプチャを可能にし、プロセスのトレーサビリティとデータ分析を提供します。Telius SP 305エッチャー/アッシャーは、幅広いマイクロエレクトロニクスデバイス向けの超微細構造製造の研究開発に最適です。全体として、TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asherは、幅広い半導体材料に最高の性能を提供する洗練されたエッチング/アッシング装置です。それは効率を最大にし、ダウンタイムを最小にするのを助ける高度のエッチング/アッシング制御装置および安全特徴が付属しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと業界標準のチャンバーとの互換性を備えたTelius SP 305 etcher/asherは、あらゆるマイクロエレクトロニクスデバイス製造向けの高度なエッチング/アッシングソリューションです。