中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9281489 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、半導体デバイス処理用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。プラズマ源、多段真空プロセスチャンバー、多段プロセスモニター内蔵のプロセス制御システムを内蔵しています。このユニットは、幅広い材料とプロセスのための高品質のエッチングまたはアッシャープロセスを生成し、優れた生産性と歩留まりを提供します。TEL TELIUS SCCMエッチャー/アッシャーは、サブミクロンからナノメートルまでの範囲で動作するように設計されており、優れた均一性、再現性、精度を備えています。エッチングやアサリングを効率的に行うために、プラズマ制御システム、高精度センサ、高速スキャンシステムなど、さまざまな技術を活用しています。プラズマソース制御により、ユーザーは最適なエッチングまたはアッシャーシリンダプロファイルを正確に設定および維持できます。高精度センサは、プロセス条件をリアルタイムで監視し、フィードバックを提供して処理精度と精度を向上させます。高速スキャンシステムは、エッチングまたはアッシュされた幅/深さを迅速に測定することにより、高分解能のプロセス制御を可能にします。このツールは、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを提供し、必要なすべての制御機能にユーザーアクセスを提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、必要なすべてのパラメータに直接アクセスできるため、エッチングまたはアッシャーのレシピを簡単に作成できます。ユーザーは、事前にプログラムされたレシピのセットから簡単にレシピを選択するか、または目的のアプリケーションのカスタムレシピを簡単に作成できます。アセットの複数ステージの真空プロセスチャンバーは密閉環境を提供し、頻繁なメンテナンスやクリーニングを必要とせずに一貫した再現性のあるプロセスを可能にします。自動ウェーハ転送モデルは、効率的なプロセスの再現性のために、ウェーハの正確なロードとアンロードを保証します。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、優れたインターフェース機能とプロセス制御機能を備えた高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、高い信頼性と再現性を提供しながら、低い所有コストで優れた性能を提供するように設計されています。