中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9249074 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、集積回路構造のエッチングのためのプロセス制御のこれまでにないレベルを業界に提供するために設計された高度なエッチング/アッシュエッチングソリューションです。パワフルな3軸モーションシステムを搭載し、最先端のウェーハとフラットパネルディスプレイを搭載しています。このユニットは、各エッチング/アッシュエッチングプロセスの速度、圧力、およびガスの流れを正確に監視および制御することができるオンボードモニタリングコントロールモジュールを備えています。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたTEL TELIUS SCCMは、エッチング実行ごとにレシピパラメータを調整する機能を含む、正確なプロセス設定と制御を可能にします。このマシンは、最適なプロセス性能を保証するために自動的に校正することもでき、ユーザーのエッチング処理タスクを簡素化するためのレシピとエッチングパラメータセットを提供します。さらに、このツールは99までのレシピを保存することができ、同じ構造の複数のレシピを同時に実行することができます。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、プロセスの安全性を最適化するために、高圧安全資産と専用の不活性ガスシリンダーを組み込んで設計されています。また、電源管理用に専用の独立したPCBを備えており、各エッチング/アッシュプロセスを高精度に制御できます。また、耐久性と耐久性に優れたエッチング/アッシュチャンバーを採用し、プロセスガスの使用率を最大限に高める設計となっており、長期間の工程でのコスト削減を実現しています。システムには完全に統合されたデジタルビジョンユニットがあり、大きなプロセス領域を継続的に制御するのに最適で、ユーザーに優れた視野を提供します。また、オプションのPCベースのコントローラを提供しており、ローカルネットワークを介してウェーハの位置決めとデータ収集のエッチングを追加することができます。全体として、Telius SCCMは、産業用エッチングプロセスを次のレベルの精度と制御に引き上げるように設計された主要なエッチング/アッシュエッチングソリューションです。パワフルな3軸モーションマシン、直感的なユーザーフレンドリーなインターフェース、およびオプションのPCベースのコントローラを備えたSCCMは、あらゆる集積回路メーカーに適したエッチャー/アッシャーです。