中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233 を販売中

ID: 9230233
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
System, 12" (3) Chambers Missing parts Spare parts: HPK1021-TE2 (3) AGA-50D (3) DGP-120A2 (3) PS3 RF Pump boxes 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMエッチャー/アッシャーは、メモリセル形成、SOTメモリセル配置、一般的な半導体プロセスアプリケーションなど、半導体関連プロセス向けに設計されたシングルウェハレベルのソリューションです。このデバイスは、小規模及び大規模生産要件のための小さなフットプリントにより、効率的で信頼性の高いエッチングプロセスを提供します。高度なエッチングツール、プロセス監視システム、および高速スループットと高精細な結果のための高度なプロセスレシピの組み合わせを備えています。このデバイスは、ウェーハエッジを簡単に整列させ、優れた再現性を提供するようにウェーハレベリング用に設計されています。その革新的な計測モニターは、各ウェーハのエッチング処理を測定し、エッチング動作の精度を検証し、プロセス制御を支援します。さらに、リアルタイムのエラー回避機能により、プロセスの最適化を可能にし、最高の生産性と歩留まりを実現します。TEL TELIUS SCCMに統合された革新的なプロセスオートメーションツールにより、レシピダウンロードプロセスが簡素化され、オペレータはエッチング操作を迅速かつ簡単に設定し、高い生産性と歩留まりを実現できます。高度なプロセス制御と監視機能により、特定のエッチング要件に基づいて技術的パラメータを調整できます。さらに、東京エレクトロンテリウスSCCMは直感的なグラフィックユーザーインターフェースを提供し、操作が簡単で便利です。また、高性能カセットベースのロードモジュールを搭載し、信頼性の高い高スループット環境を提供します。コンパクトで費用対効果の高い設計により、さまざまなウエハ生産ラインにエッチング作業を統合することができます。このエッチング・システムにより、半導体製品メーカーはコスト効率よくスループットを向上させ、ダウンタイムを削減できます。Telius SCCMの高度な安全システムは、環境を監視および制御し、潜在的な安全リスクを排除します。さらに、オペレータにデータロギングとアーカイブ機能を提供し、プロセスの追跡を強化し、規制遵守を支援します。また、監視システムは、完全な追跡と品質保証のための管理情報システムと統合するように設計されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMエッチャー/アッシャーは、半導体関連プロセスにおいて効率的で信頼性の高いデバイスであり、今日のコストに配慮した市場での生産性と競争力をユーザーに提供します。
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