中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293645275 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、エッチングプロセスの多様性に優れたスループット性能を提供するマルチプラットフォームエッチャー/アッシャーです。これらのプロセスには、半導体デバイス製造、薄膜蒸着（TFD）、誘電エッチング、MEMSエッチングなどが含まれますが、これらに限定されません。TEL TELIUS SCCMは、独自の特許取得済みの設計により、SCSIカードベースのメインコントローラとチャンバー位置決め装置を使用して、完全に均一なチャンバ分布を生成します。これにより、チャンバー温度とガス流量を安定して維持することができ、高精度エッチングが可能になります。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMは、幅広い機能を備えており、ルーチンおよび複雑なエッチング作業に最適です。基板の取り扱いに関しては、さまざまな寸法の複数の基板を一度にシステムに読み込むことができる精密レールにより、高い柔軟性を提供します。マルチゾーン熱帯技術と高度なPyromicron発熱体は、異なる基板上で一貫した反復可能なエッチング結果を保証します。Telius SCCMのチャンバー設計は、スループットとリカバリ時間を最大化するためにさらに最適化されています。リモートアクセスによる遠隔診断や保守作業が可能で、物理的にアクセスできなくても最適化が可能です。また、SIAS （Sirius Interpreter Algorithm Unit）を搭載しており、過剰エッチングまたは過剰エッチングの可能性を検出して迅速に調整し、信頼性の高いプロセス制御を保証します。これらの機能を組み合わせることで、TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCMのユーザーは、世界トップクラスのエッチング性能と優れた精度を享受することができ、製品の歩留まりと出力の信頼性を迅速に達成することができます。そのため、TEL TELIUS SCCMは半導体製造業界において多くのデバイスに採用されています。