中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM SHIN（エッチャー/アッシャー）は、半導体ウェーハの高精度、高スループット、効率的な製造を目的とした高度なエッチング装置です。MEMSデバイス、CMOS、 ASICなど複雑なエッチング処理を必要とするアプリケーション向けに特別に設計されています。ステッピングモーターと合金スピンドルの位置決め技術により、材料の流れを監視するための組込み画像認識装置に加えて、高精度で反復可能な結果を得ることができます。また、4軸高速精度サーボシステムと自動ウェハハンドリングを搭載し、迅速かつ効率的な製造を実現しています。このユニットは、エッチングガス、パターン、温度を正確に制御し、高信頼性のプロセス制御を可能にします。また、廃ガスを最小限に抑える高速ガススイッチング装置と、望ましくない温度変化を防止するリアルタイム温度制御ツールを内蔵しています。アセットは、シリコン、石英、クロム、タングステンなどの複数の材料を製造するために設計されています。また、最大100個のバッチサイズのウェーハにも対応可能です。直感的なタッチスクリーンインターフェイスと強力なソフトウェア機能を備えたTEL TELIUS SCCM SHINは、半導体デバイスのプロトタイピングと量産の両方に最適です。