中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #293593000 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shinは、半導体やフラットパネルデバイスの製造に使用できるエッチャー/アッシャーです。圧力と温度の代替を使用して、ワークの表面から材料の層を除去することによって動作します。Telius SCCMは電気化学反応として材料を除去するために電極を使用します。この反応は、2つの電極（ワークと取り付けられた電極）の間で発生し、陽極と陰極イオンが生成され、非電導材料が基板表面に付着します。これは基板から取り除かれます。このタイプのエッチングは、エッチング薬品や溶剤を使用せずに加工できるため「、ドライエッチング」と呼ばれています。Telius SCCMは完全に自動化された装置であり、高度なプロセス精度と再現性を提供します。エッチング面積、深さ、表面粗さを精密に制御し、最高品質のエッチング結果を保証します。連結システムは安全保証を提供し、プロダクトへの損傷を防ぐためにプログラムすることができます。このユニットは、プラスチック、セラミック、半導体など、さまざまな材料を処理することができます。また、デュアルダマシン、環状エッチング、浅いトレンチエッチング（STI）などの半導体アプリケーションにも使用できます。本機では高いエッチング精度を実現し、表面変動の少ないエッチング面積の均一性を実現しています。エッチング結果は残留物や汚染がなく、高い収量を可能にする可能性があります。Telius SCCMは、高いプロセス精度と再現性が要求される半導体およびフラットパネルディスプレイデバイスの製造に最適です。このツールは、表面変動が少なく、エッチング残留物や汚染が最小限で、高精度なエッチングを生成することができます。これは、例外的な収量と品質が必要なプロセスに最適です。Telius SCCMのハイエンド機能は、最も要求の厳しいタスクに最適です。