中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius DRM #293627317 を販売中

TEL TeliusTM DRMは、キヤノンのリソグラフィ専門家と提携して東京エレクトロンが開発したエッチング/アッシング装置です。エッチング/アッシングシステムは、直接逆転マスキングを使用して、回路設計のトポグラフィーを半導体ウェーハにエッチング/アッシュします。TEL/TOKYO ELECTRON TeliusTMエッチャー/アッシャーは、高度なウエハ処理を使用して、希望する回路設計を模したラインやパターンでウエハ表面に材料を除去または追加できます。このユニットは、まず望ましい回路設計から絵のようなマスクを作成し、次にレーザーを使用してマシンをエッチング/灰のラインやパターンに導きます。TEL TeliusTMエッチャー/アッシャーは、1/10ミクロンの分解能で高精度です。オンボードの数値制御を活用して、エッチング/アッシングの各操作を効率的に正確に実行し、小型バッチサイズの大規模生産と、ダウンタイムを最小限に抑えた高品質な製品を実現します。TeliusTMツールには、電力と排水のための高度でカスタマイズ可能なパラメータも含まれており、ユーザーは特定のニーズに合わせてエッチング/アッシングプロセスをカスタマイズし、スピードとスループットを向上させることができます。この資産には、OptiCoolTMモデルなどの電力と時間を節約するための特許技術がいくつかあり、温度や流体の圧力の変化に素早く対応します。TOKYO ELECTRON TeliusTMエッチャー/アッシャーは、自動位置決め装置の内蔵、自動底板検出、完全にプログラム可能なステージなどの追加機能を提供し、大規模な生産からの柔軟性と高い歩留まりを提供します。これらの機能はすべて、TEL/TOKYO ELECTRON TeliusTMエッチャー/アッシャーを、高速で正確で費用対効果の高いエッチング/アッシング操作に最適です。