中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293822433 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCMは、大量生産プロセス向けに設計されたフルオートエッチャー（またはアッシャー）です。1回あたり最大12個のウエハを処理できる単一のウエハ生産装置であり、効率的かつ柔軟な生産を可能にします。ドライエッチングシステムであり、スタンドオフプラズマソース技術を使用して、高い精度と精度で材料を堆積およびエッチングします。TEL Telius 305 SCCMは、最大12インチのウェーハを搭載可能な堅牢な2軸ステージテーブル上に構築されています。独自に内蔵されたコンベアユニットは、ウェーハの信頼性の高い輸送を保証し、幅広い速度設定が可能です。高精度のZ軸ピエゾアクチュエータを使用して、エッチング工程で理想的で一貫したウェーハ位置決めを実現します。この機械には高度なクローズドループ・プロセス制御技術が搭載されており、処理パラメータを自動的かつ正確に制御し、毎回最も正確なエッチング結果を保証します。この機械は、再現可能なプロセスシーケンスのために最大10のレシピを保存することができ、シリコン、アルミニウム、銅、および他の多くの金属や合金を含むさまざまな材料をエッチングすることができます。エッチャーには、搬送時に不活性ガスを保護するためのデュアルガス搬送ツールや、毎回クリーンでパーティクルフリーなエッチング結果を保証する窒素パージングアセットなど、完全に自動化された清浄度と安全モジュールが用意されています。多様な生産ラインや用途に適した汎用性の高いエッチングモデルです。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCMは、生産の基本的なニーズと要件を満たすように設計された、効率的で信頼性の高いエッチングソリューションで、さまざまなプロセスや材料に柔軟性とプロセス制御技術の完璧な組み合わせを提供します。それは大量のエッチングおよび他の生産の適用にとって理想的である非常に経済的で、多目的な機械です。