中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293652091 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCMは、集積回路製造に使用される高度なエッチングアッシャーです。SCCM （Substrate Charge Control Module）マシンで、基板の充電を正確に制御できます。この機械は直径300mmまでの基板の処理に使用され、半導体装置1台あたりの部品コストが低いため、高度なエッチングアッシャー用途に最適です。TEL TELIUS 305 SCCMの中核となる特徴は、各拠点で独自に調整可能なバイアスによる静電気充電制御、自動化されたウエハハンドリング装置、直径300mmまでの基板加工能力です。この機械には、2つのプラズマ源、ロードロックチャンバー、および広範なコンピューター制御システムが装備されています。ロードロックチャンバーは、広範なダウンタイムを必要とせずに簡単にウェーハ交換でき、プラズマ源は基板の精密エッチングを可能にします。さらに、二重プラズマ源は基板の均一なエッチングを保証するように設計されています。コンピュータコントロールユニットは、エッチングパラメータの正確なプロセス監視と調整を可能にします。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCMは、高性能アプリケーション向けに設計されており、エッチングアッシャー業界で際立っています。高速エッチング時間5分、スループット速度450基板/時間を誇ります。厚さ125 μ mまでの基板加工が可能で、ウェーハ平坦度と丸み測定の両方で精度が高く、パルスエッチングとイオンビーム伝達エッチングが可能です。エッチング方法のオプションは、処理されるウェーハの種類に応じてカスタマイズされます。Telius 305 SCCMには、緊急停止ボタン、2レベル安全インターロック、および安全スイッチなどの複数の安全機能が含まれています。さらに、基板処理中の不規則性や損傷を検出し、オペレータに警告するように設計された高度な警告機を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCMは、高効率で信頼性の高いエッチングアッシャーで、集積回路製造に優れた性能を提供します。すべての製造プロセスに費用対効果があり、その高度な技術により、ほとんどの基板の精密エッチングが保証されます。