中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #9294211 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 DRMは、高品質で高性能なエッチングソリューションのために設計された自動ドライエッチャー装置です。エッチャーは、さまざまなアプリケーションで長年使用されてきた高度で実績のあるTelius 305プラットフォームに基づいています。ガラス、石英、シリコン、アルミナなどの各種素材の基板を均一にエッチングするため、独自の電子ビーム加熱・水素プラズマ源の技術を活用しています。このユニットは、高精度で均一な半導体デバイスのエッチングとパターン作成に特に適しています。エッチャーは、3軸ステージと200mmから300mmの広いウエハ径を備え、多種多様な基板に対応できます。さらに、Telius 305プラットフォームは、酸化物エッチング、スパッタリング、プラズマエッチング、ディープレジストエッチングなどのさまざまなプロセスにカスタマイズできます。このマシンは、動作の遅延反射モードとビームブランキングパルスを使用して、均一なビーム強度を確保し、それによって均一なウェーハエッチングを保証します。最先端の可変チルトエッチングと可変ジッタリング、および可変静電チャッキングを備えています。さらに、このツールには高度な温度制御機能が装備されており、正確なエッチング速度を保証します。TEL Telius 305 DRMは、パラメータの再現性と精度を確保するために、プロセス制御とデータ取得機能を備えて設計されています。アセットはプロセスレシピを保存でき、ユーザーはさまざまなエッチングアプリケーション用に複数のレシピを保存できるため、プロセスの最適化が容易になります。また、シャッターレス光学ビームシャッターを採用し、プロセスの可視性を向上させています。装置は非常にコンパクトで、設置スペースを最小限に抑える必要があります。その堅牢な設計は、高速デジタル制御システムと高性能デジタルサーボモータと組み合わされており、信頼性が高く効率的です。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRMは、メンテナンスが容易で稼働時間が高いように設計されています。また、高速かつ高いスループット能力を提供します。全体的に、Telius 305 DRMは、さまざまな基板の高精度で均一なエッチングに適した、高度で信頼性の高い効率的なエッチングユニットです。エッチャーの堅牢な設計、高度な温度制御機能、プロセス制御およびデータ収集機能により、幅広いアプリケーションに適しています。