中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9313289 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、半導体ウェーハ加工用に設計されたTEL製の高度なケミカルエッチャー/アッシャーです。TEL TELINDY Plusは、非接触メンテナンスを使用した化学蒸気エッチャー/アッシャーで、エッチング処理を停止せずに部品をユニットとして交換します。モジュラー設計も特徴で、多種多様なプロセスレシピを使用できます。TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、本体、プロセスチャンバー、真空ポンプ、ウェーハステージで構成されています。本体はウェーハステージ、真空ポンプ、プロセスコントロールパネルが配置されています。ウェーハステージは、エッチングまたは洗浄するためにウェーハを配置するプラットフォームです。真空ポンプは、プロセスチャンバーの圧力を低減し、同時に複数のウェーハをエッチングするためのエッチング用の真空環境を作成するために使用されます。プロセス制御パネルは、プロセスの開始から終了までの制御と監視、およびエッチング性能を最適化するためのパラメータの変更に使用されます。TELINDY Plusは、化学蒸着（CVD）を使用してウェーハの上に薄い誘電層を堆積させます。このレイヤーは、ウェーハからどのパターンまたは形状がエッチングされるかを判断するためのマスクとして機能します。エッチング処理は、真空チャンバー内の化学エッチング剤にウェーハを露出させることで、望ましい領域の材料を侵食します。このプロセスが完了すると、エチャントを洗い流してウェーハをきれいにするために、一連の高純度ガスがチャンバーに供給されます。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、ユーザーの再現性とプロセス制御を最大限に高めるための厳密に制御された環境を提供します。温度、圧力、回転速度、ガス混合物を正確に調整することができます。これにより、ユーザーはプロセスを最適化し、最大のエッチング結果を達成することができます。また、精密なガス供給と均一性のための高いガス流量精度を提供します。TEL TELINDY Plusは、圧力センサー、漏れセンサー、アラーム機能付き温度センサー、過圧シャットダウンなどの安全機能を備えています。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーは最初から最後まで簡単にエッチング処理を監視および制御できます。また、TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、カスタマイズのための様々なオプションを提供しています。全体として、TELINDY Plusは高度なケミカルエッチャー/アッシャーです。精密エッチングと均一なガス供給、高度な安全機能とカスタマイズの汎用性を備えています。半導体ウェーハ製造に最適なソリューションです。