中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251691 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、半導体製造プロセスで使用される多機能エッチャーまたはアッシャーです。半導体ウェーハにパターンをエッチングするために使用され、最も複雑な機能の一部をエッチングすることができる高性能な機器です。エッチャーには、最高温度800°Cの独立した精密マルチゾーン温度制御が装備されています。ガスパネルと誘導コイルの組み合わせで温度制御が可能です。さらに、プラスにはユニークなフローティングサセプター設計があり、ウェーハ表面を均一にエッチングするために使用されます。サセプターは低温サセプターであり、材料に損傷を与えません。この装置は信頼性が高く精密であり、浅いジャンクション形成、レジストストリップ、損傷除去、ウェーハ洗浄などのプロセスを可能にします。また、システムにはプログラム可能なエンドポイント監視ユニットが装備されているため、タイトなプロセス制御を提供します。この機械は明確な端点で精密なエッチングを保証します。さらに、EPM （Etcher/Processor Module）と呼ばれる高度な安全ツールを備えており、エッチングプロセスの安全制御を提供します。エッチャーはユーザーフレンドリーで、タッチスクリーンディスプレイで迅速なプロセス設定と簡単な操作を可能にします。これは、カスタマイズと最適化が容易な内蔵プロセスレシピのために可能です。TEL TELINDY Plusは、半導体製造に使用される高度なエッチャー/アッシャー資産です。独自の温度制御、サセプター設計、プロセス制御、安全機能により、正確で信頼性の高いエッチングプロセスを実現します。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、効果的なプロセス操作を保証するために必要な情報を技術者に更新します。