中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、TELが製造するエッチャー/アッシャー装置で、ウェーハ加工、MEMS加工、薄膜カプセル化などの様々なマイクロエレクトロニクス機器のパターニングに使用されています。基板材料の精密エッチングとアッシングを可能にするように設計されています。このシステムは、コントローラ、エッチングプロセスチャンバー、および真空ユニットで構成されています。TEL TELINDY Plusマシン上のコントローラは、エッチングプロセスを設定し、プログラムを開始するために必要なユーザーインターフェイスを提供します。コントローラは高度なソフトウェアアルゴリズムを備えており、エッチングパラメータの自動調整を可能にし、ユーザーはプロセスの制御と柔軟性を向上させます。エッチングプロセスチャンバーは、エッチングおよびアッシング時に基板を収容するために使用されるオールガラスのチャンバーです。このチャンバーには、専用のガス供給システム、エッチング電極、圧力および温度センサーが装備されています。高度に定義されたエッチング環境を提供し、均一で一貫したエッチング結果を保証するように設計されています。TOKYO ELECTRON TELINDY Plusアセットの真空ツールは、イオンゲッターポンプとロータリーベーンポンプで構成され、基板加工に必要な真空レベルを提供します。このモデルはまた、エッチング工程からの熱伝達における真空レベルの維持と補助をサポートするターボポンプを備えています。TELINDY Plusは、光学的に透明な電極を使用して設計されており、ウェーハの精密なエッチングとアッシングのための電界を作成します。また、電極は均一で反復可能なエッチングプロファイルを保証します。このシステムは、さまざまなガスと互換性があり、ウェットエッチングからドライエッチングまで、さまざまなプロセスを実行するために使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusユニットは、半導体業界で活躍する技術者に最適な、信頼性と効率の高いエッチャー/アッシャー機です。このツールは、高度な自動化、精密なエッチングプロファイリング、さまざまなプロセスオプションを提供しており、ウェーハ処理に最適です。