中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293640860 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、半導体および関連機器の製造に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、金属層、酸化物層およびその他の材料のドライエッチングに使用されます。半導体加工における最先端のドライエッチャー/アッシャーであり、プラズマエッチング、化学エッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング、ウェットケミカルエッチングと組み合わせて使用できる金属エッチングなど、幅広い技術を提供しています。TEL TELINDY Plusユニットは、フルオートメーション機能を備えたカスタマイズされたマシンで、特別なプロセス要件に簡単に対応できます。モジュラーツールアーキテクチャを使用して、その機能の可能性を最大化します。アセットは、低ダウンタイムを確保し、プロセスの一貫性を提供するように設計されています。ユーザーフレンドリーな制御モデルは、リモート監視と制御機能を備えており、ユーザーはローカルまたはリモートの場所からプロセスを監視することができます。TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、金属、酸化物、ポリマー、窒化物、誘電体など幅広い材料に対応可能です。このシステムは、プロセス開発と大量生産に適しており、プロセス実行中にエッチング率を測定し、それに応じてプロセスパラメータを調整できるクローズドループプロセスを備えています。このユニットには、エッチングプロセス温度を制御するための調整可能な基板温度コントローラもあります。機械はさまざまなエッチングの条件を満たすためにさまざまなプロセス専門の部品が装備されています。高圧・低温エッチングツール、ディープリアクティブイオンエッチング資産、ディープビアモデル、スパッタ装置、イオン注入装置、基板前及び後計測システムなどの機能を備えています。これらのシステムはすべて、最高のプロセス再現性を確保し、簡単なセットアップ、操作、メンテナンスを提供するように設計されています。エッチングプロセスに加えて、TELINDY Plusユニットは昇華、スパッタリング、測定前および測定後、イオンインプラント、ウェットケミカルエッチング、非破壊熱処理などの他のいくつかのサービスも提供しています。多様な半導体アプリケーションやプロセスに使用できる汎用性の高い機械です。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusツールは、最も要求の厳しい環境およびプロセス要件を満たすように構築された、信頼性の高い高収量ドライエッチャー/アッシャー資産です。モジュラーモデルアーキテクチャは、半導体加工のための幅広い機能をユーザーに提供し、機器を特定のニーズに合わせて調整することができます。