中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide #293638902 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide Etcher/Asherは、集積回路基板の高精度バッチ処理を低コストで実現するよう設計されています。この酸化物エッチャーは、今日の最先端の基板と技術に必要な高性能と精度を提供することに焦点を当てて設計されています。Oxideエッチャーには、再現性の高い信頼性の高い処理を可能にする高度な制御装置が装備されています。すべてのパラメータは簡単にプログラムされ、最高品質の出力を保証するために監視されます。処理中の基板温度をリアルタイムに表示することで、基板の実際の温度をフィードバックし、プロセスを調整することができます。さらに、TELの特許取得済みのPressure-Scan設計により、高度な温度制御が可能となり、冷却装置の必要がなくなります。酸化エッチャーは、DCプラズマの酸化、エッチング、アッシング、光刺激/プラズマ洗浄サイクルなどの高度なプロセス制御を利用しており、高い生産基板処理に最適です。これに加え、エッチング、クリーニング、乾燥を1つのステーションで行うため、基板の手動処理が不要です。Oxide Etcherの高度なガスマシンは、流量を制御し、さまざまな基板で高品質の処理を保証します。Oxideエッチャーの堅牢な構造により、工業加工の過酷な環境にも耐えることができます。一方、プロセス安全係数は、可能な限り最高の基板純度を確保するために増加しています。ユーザーフレンドリーなGUIインターフェースにより、このツールを簡単にプログラムおよび監視でき、プロセスの変更を迅速かつ効率的に実行できます。Oxideエッチャーは、あらゆるクリーンルームや実験室の環境に適合するコンパクトな設計であり、高度な安全機能により、生産環境での使用に理想的な資産となります。この酸化物エッチャーは、高収率、高精度、高スループットを提供し、大量製造に最適です。
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