中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K #9253810 を販売中
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販売された
ID: 9253810
ヴィンテージ: 2014
Furnace
Wafers: 100
Pressure control: APC Valve
Process gas:
AMPLE System: NxTi
TMA: F.S 500 Sccm
O3: F.S 20 Slm, 200 g/m3
N2
Octane
Vaporizer:
STEC (TMA, NXTi)
LSC-F530 (TMA)
STEC Z500 Series MFC (Mass Flow Controller)
Process temperature: 200° to 300°
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-Kは、電子部品の製造・保守に使用されるエッチャー/アッシャーです。高Kプロセス技術のために特別に設計されており、最先端の集積回路設計で最も重要な機能を生成し、維持することができます。TEL TELINDY Plus High-Kは、独自のデュアルプラズマ技術を採用し、より均一なエッチングパターンを実現しています。高出力・高周波プラズマ発生器は、安定した信頼性の高いエッチング性能を発揮し、高Kデバイス構造の製造・保守に適しています。さらに、エッチャーには、プロセスの安定性を向上させ、高精度エッチング動作を保証する高度な統合機能を提供する統合コントローラが装備されています。このシステムは、さまざまなウェーハサイズをサポートする機能を備え、プロセスの拡張性に最適化された設計を誇っています。また、アルミニウム、ポリシリコン、ガリウムヒ素、酸化インジウム、シリコンオンインシュレーター、ディープトレンチなど、幅広い基板材料を提供しており、高Kプロセスを含むすべての作業に適しています。また、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスを備えており、シンプルなドラッグアンドドロップでユニットを構成することができます。機械には高度な安全機能が装備されており、ローディングプロセスを含むすべての重要なステップでのオペレータの安全性、および信頼性の高いメンテナンスと工具のアップグレードが可能です。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-Kは、最新のエッチング技術を提供します。効率的で信頼性の高い操作により、最先端の高Kプロセスアプリケーションに最適であり、基板の互換性とプロセスの拡張性に完全な汎用性を提供します。直感的なユーザーインターフェイスと高度な安全機能により、生産とメンテナンスのすべてのニーズを満たすための貴重な資産となります。
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