中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293778314 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、TEL製の自動ウェーハエッチング機です。この汎用性の高いマシンは、あらゆる種類のウェーハおよび薄膜パターンのマルチステップフォトレジストエッチングプロセスに適しています。TEL TELINDY Plusはフォトリソグラフィ用に設計されており、室温から250°Cを超える基板温度で、10mmから8インチウェーハまで幅広いサイズのウェーハに対応できます。ウエハーとエッチングレンズ、カメラシステムとの正確なアライメントを可能にする高度なプラテンシステムを搭載しています。このレンズは、高温に対する耐性を特徴とし、均一で汚れのないエッチング結果をもたらす低収差を備えています。東京エレクトロンテリンディープラスは、エッチング、スポットチェック、クリーンな操作を自動化しています。コンピュータ制御のエッチングヘッドを使用して、ウェーハ全体の指定点に移動し、正確なフォトレジスト画像パターンを作成します。電解エッチングチャンバーも付属しており、データ歪みの少ない微細構造のエッチングに有益なプラズマエッチングが可能です。このプロセスはまた、レジストのエッチングの均一性を向上させます。TELINDY Plusは非常にユーザーフレンドリーで使いやすいです。これは簡単なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、オペレータは簡単にプロセスをセットアップして監視することができます。この画面には、すべての操作パラメータが表示され、簡単なトラブルシューティングのためのヘルプ機能があります。また、ウェーハカセットキャリアを2基備えており、最大8インチウェーハを保持することでセットアップ時間を最小限に抑え、より大きな基板の並列処理を実現します。機械にまたエッチングのプロセスで使用される化学薬品の構成、量および質を制御する機能と来る統合された化学管理システムがあります。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、ウェーハエッチングの最新技術を搭載した素晴らしいマシンです。堅牢な設計により、信頼性の高い効率的なエッチングを実現し、製造プロセスのダウンタイムを低減します。安全な操作、高いスループット機能、簡単な操作により、このマシンはすべてのフォトリソグラフィ用途に最適です。