中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293752523 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-Mは、半導体製造およびマイクロエレクトロニクス業界における精密表面改質および加工用に設計された高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、エッチング、アッシング、クリーニング、レジストストリッピングなどの重要なプロセス手順で優れた性能、信頼性、再現性を提供するための最先端の技術を組み込んでいます。TEL TELINDY PLUS-B-Mユニットの中核には、ガスの流れ、圧力、温度、プラズマ密度などのプロセスパラメータを精密に制御できる洗練された真空チャンバーがあります。このチャンバーには、最先端のガス供給システム、RFジェネレータ、およびプラズマ源が装備されており、特定のプロセス要件に合わせた幅広い化学条件およびプラズマ条件を作成します。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-Mマシンの主な特徴の1つは、チャンバーの再構成を必要とせずにエッチングとアッシングモードをシームレスに切り替えることができるデュアルモード動作機能です。この汎用性により、ユーザーは1つのツールで複数のプロセス手順を実行でき、サイクルタイムを短縮し、全体的な生産性を向上させます。さらに、この資産は、効率的な基板洗浄と表面処理のための誘導結合プラズマ（ICP）と下流プラズマ洗浄技術の両方をサポートしています。TELINDY PLUS-B-Mモデルは、高度なプロセスレシピ管理ソフトウェアを通じて、高度なプロセス柔軟性とカスタマイズを提供します。ユーザーは、特定のアプリケーション、材料、デバイス構造のプロセスレシピを簡単にプログラムおよび最適化でき、エッチング速度、選択性、均一性、プロファイル制御を正確に制御できます。また、リアルタイムのプロセスモニタリングと制御機能を備えているため、ユーザーはオンザフライでプロセスパラメータを調整して、一貫した信頼性の高い結果を保証できます。ハードウェア設計では、メンテナンスの容易さ、保守性、運用安全性を重視したTEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-Mシステムを構築しています。このユニットには、高度な診断ツール、セルフキャリブレーション機能、リモートモニタリング機能が装備されており、メンテナンス作業を合理化し、機械のダウンタイムを最小限に抑えます。さらに、このツールは厳格な安全基準に準拠し、複数のインターロック、アラーム、および安全メカニズムを備えており、事故を防ぎ、オペレータや機器を保護します。TEL TELINDY PLUS-B-Mアセットは、半導体製造設備、研究室、高度な製造環境の厳しい要件を満たすように設計されています。堅牢な構造、高度なプロセス機能、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、高度なパターニング、デバイス製造、MEMS製造、薄膜加工など、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-Mモデルは、優れた性能、信頼性、およびプロセス制御機能を備え、高品質で費用対効果の高い精密表面処理および修正ソリューションを求める組織にとって貴重な資産です。