中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716 を販売中

TEL TELINDY Plus Annealing（東京エレクトロン/TE Tangential Etcher/Asher）は、ナノスケール基板上の残留フォトレジストを除去する高精度エッチング/アッシングユニットです。主に半導体、MEMS、およびその他のマイクロエレクトロニクス産業の用途に使用されます。大容量液晶タッチパネルを搭載した高度なTELINDY Plusコントローラを搭載。これにより、多くのプロセスパラメータを正確に構成することができます。このコントローラは、ケミカルエッチング時間と濃度の容易な設定と校正、ならびにケミカルタンク内の温度と圧力の制御を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asherは、優れた化学エッチング率と材料ロスを低減する先端技術を使用しています。これにより、小さな溝、ライン、接点などの細かい機能を高い精度でエッチングできます。このユニットはまた、高い再現性で一貫した均一なエッチング結果を提供します。RIE、 ECR、 ICPエッチングなどのウェットエッチングや、DRIE、 ECR-DRIE、 ECR-ICPエッチングなどのドライエッチングに適しています。また、アニーリング処理を施すことで、プロセス中にウェーハ上で培った材料の接着性を向上させることができます。ユニットには、高度なポルポルスクラバー装置も装備されています。これにより、タンクから化学物質を回収して再循環させることで、エッチング工程での廃棄物の発生を低減します。さらに、TEL/TE Tangential Etcher/Asherには冷却システムが含まれており、化学混合物を冷却して運転中の安全性を高め、化学分解を防ぎます。TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asherには別個の真空ユニットがあり、蒸気エッチングのような望ましくないプロセスを排除するのに役立ちます。また、渦電流センサを備えており、エッチング工程で基板を検出し、エッチング深さを正確に測定することができます。この精度は、一貫した結果を保証し、プロセスの歩留まりを向上させるのに役立ちます。さらに、ユニットには、故障を警告するオンボードアラームマシンが装備されています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Annealing （TEL/TE Tangential Etcher/Asher）は、重要なプロセスパラメータと優れたエッチング率を正確に制御するために設計された高性能エッチング/アッシングツールです。高度な技術により、多種多様な基板や材料をエッチングすることが可能であり、その組み立て機構は廃棄物の発生を減らし、結果の品質を向上させるのに役立ちます。